




氦質譜檢漏儀的進展
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環(huán)境溫度一般為23℃。
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氦質譜檢漏儀的校準方法
氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標,通過實驗,總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
氦質譜檢漏儀原理:
氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔,可將標準漏孔拆卸進行校準,如果不能單獨校準標準漏孔,就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準,本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。
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真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點
真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關閉V2
3)、關閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關斷V3、V5,打開V2對氦氣進行回收。
4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
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